EFFBE‑ADS 6 系列空气弹簧系统工业场景应用

ADS6 是德国 EFFBE 膜片式空气悬架单元，核心特点：低频固有频率 1.5‑3 Hz，可搭配 ICD 集成阻尼、电子调平控制单元，气压可调实现刚度与工作高度自适应，垂直 / 水平隔振性能均衡，适合对微振动高度敏感的工业设备，分为被动隔振版本与带传感器的主动调平版本。

核心技术特性

1. 低频隔振能力：固有频率 1.5‑3 Hz，可隔离地面低频扰动，隔振效率高，抑制外界振动传递至设备本体。
2. 集成阻尼 ICD 选项：内置阻尼结构，抑制共振放大，无需外置阻尼器，结构紧凑。
3. 高度自适应调平：搭配 ISI/ALS 电控系统，非接触式高度传感器，负载变化、重心偏移时自动补偿高度，支持 CAN、DIO、USB 通讯接入设备 PLC 系统。
4. 膜片结构：耐疲劳橡胶织物膜片，抗偏载，抗漂移；铝合金壳体，工业环境稳定性好；调平行程 ±5mm 级别，无需地脚锚固安装。
5. 负载覆盖：ADS6 系列覆盖中小负载，典型型号 ADS6‑90 多用于几十公斤至数吨设备支撑，多单元组合可扩展更大负载。

主要工业应用场景

1. 精密测量与计量设备

• 三坐标测量机（CMM）、影像测量仪、轮廓仪、粗糙度检测仪
• 高精度天平、实验室计量台

作用：隔绝厂房地面压缩机、行车、周边机床传递的低频微振，保证测量精度；负载变动自动找平，保证工作台水平基准稳定。

2. 光学与半导体行业

• 光学检测平台、激光加工设备、干涉仪、光刻机子工位
• 半导体检测、探针台、晶圆检测设备

作用：抑制外界振动，避免激光光路偏移、探针定位偏差；多组 ADS6 单元组成悬浮工作台，实现被动 / 主动隔振。

3. 高端机床与精密加工

• 超精磨床、光学磨床、小型高速精密加工中心
• 电火花、线切割精密机床

作用：隔离外部振动，同时隔离机床自身加工冲击向外传递；设备换刀、工件更换负载变化，电控自动维持床身水平，保证加工一致性。

4. 自动化与特种测试设备

• 振动敏感自动化检测工装、视觉检测大型机架
• 环境试验台、冲击测试辅助悬浮基座

作用：既隔离外部振动，又吸收设备内部冲击；多弹簧多点支撑，补偿机架形变。

5. 实验室、科研仪器

• 理化精密分析仪器、电镜辅助支撑台
• 科研光学平台、物理实验悬浮基座

紧凑型体积，可被动隔振，也可接压缩空气 + 电控实现主动调平，适合实验室多设备混用环境。

系统搭配方案

1. 纯被动隔振（无电控）：ADS6 基础款，接稳压气源，固定气压，免供电，适合负载基本不变设备，成本低。
2. 主动调平系统：ADS6‑ICD‑S（带高度传感器）+ EFFBE‑ISI 控制单元，配套调压阀、气源处理；支持 PC 软件调试，可接入工厂自动化系统，适合负载经常变化、重心偏移工况。

选型注意要点

1. 每只弹簧实际工作负载需落在额定负载区间，避免过载、过轻；
2. 气源要求洁净干燥压缩空气，常规工作压力最高约 4bar；
3. 多弹簧支撑时，优先选用电控调平版本，避免单点受力不均；
4. 环境：0‑50℃，湿度＜80%，特殊油雾腐蚀环境需指定特殊膜片材质。

与 EFFBE 其他系列简单区分

• ADS6：紧凑型膜片空气弹簧，中小负载，侧重精密仪器、小型机床，固有频率 1.5‑3Hz；
• SLM 系列：大负载工业气垫，冲床、压缩机、大型设备基础；固有频率 3‑5Hz；
• ALS 系列：重型主动调平系统，吨级以上大型机床、设备基础基座。